徠卡體視顯微鏡的徠卡顯微系統是全球顯微科技與分析科學儀器之專業廠商,總部位于德國維茲拉(Wetzlar, Germany),隸屬全球科學與技術的創新者丹納赫集團。
晶圓檢測系統結合了德國Leica公司的光學顯微鏡,解決了半導體客戶對8英寸及以下尺寸晶圓、第1/2/3代半導體材料晶圓傳送和光學檢測需求。該系統可以兼容第一~第三代材料,不透明材質\\半透明\\全透明材質的晶圓。該系統可以升級成為全自動檢測系統(可以選配AOI/AI智能檢測軟件),可以針對特殊工藝晶圓、特殊標記Mark、雙平邊晶圓等進行相應的擴展或者改造,可以選配SMIF系統、SECS/GEM。
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